离轴抛物面镜离子束修形工艺研究

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随着现代加工制造技术的进步,以非接触式的加工方式使得对非球面光学元件的精度得到了很大的提升。不同的光学曲面解放了光学设计,可以使得光学系统达到更高的成像质量。离轴抛物面镜是光学设计中常用的光学器件,在离轴式反射系统中得到了广泛应用,而大口径、大离轴量的制造加工精度是限制其使用的最大因素。本文利用离子束加工技术对加工离轴抛物面镜展开研究,主要研究包括如下内容:(1)最小材料去除量求解。利用轴对称法和坐标旋转法两种方式分别求得最小的非球面度,通过MATLAB软件设计编写最接近球面搜寻算法程序,并设计GU
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