激光三角法测量是一种非常重要的非接触测量方法,同时也是激光扫描测量中的核心部分。在查阅了国内外大量文献资料的基础上,推导了激光光束垂直入射和斜入射两种情况下的物-像位置关系,论证了激光三角法测量的前提条件,即Scheimpflug条件,并对成像系统的放大率进行讨论。基于半导体激光光束的特性,传统的用于激光准直的倒置望远镜系统已经不能在使用,本论文采用的是一种结构简单、准直效果良好的单透镜准直法。基于PSD结构特点,系统的分析了PSD的工作原理,即PSD输出的电流只与光斑的重心位置有关。基于传统PSD信号处理电路存在的不足之处,本论文采用了PSD信号处理专用集成电路H2476,经过A/D转换后,用数据采集卡采集实验数据。搭建实验光路,对实验所得到的数据进行处理,验证了在PSD光敏面内,测量物件的厚度与通过PSD信号处理电路所得的电压值呈线性关系,线性度:1.09%,测量范围为1.425mm。