【摘 要】
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精密运动平台在现代精密机械和科学研究领域占有至关重要的地位,其加工的精度严重影响着定位精度。柔性铰链是一种利用柔性结构本身来产生弹性变形,特点是重量轻、加工装配时
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精密运动平台在现代精密机械和科学研究领域占有至关重要的地位,其加工的精度严重影响着定位精度。柔性铰链是一种利用柔性结构本身来产生弹性变形,特点是重量轻、加工装配时间短,可以减少机构的间隙和摩擦润滑等问题。本文结合长春光机所使用的美国NYGO公司生产的白光干涉仪new-view精密平台现实中存在的问题,以精密微位移水平移动台为研究对象,利用柔性铰链结构对平台的精密定位进行探讨研究,并采用精密运动与粗运动平台相结合的方式满足平台大行程和高精度的双重需求;利用三维软件CATIA绘制了台架的整体结构;完成粗动平台设计零件的加工和平台的装配;利用有限元分析软件ANASY Workbench13完成了精密位移平台的静力学和模态分析。
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