MEMS地震加速度计的信号调理研究

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目前在地震勘探领域普遍使用的是动圈式传感器,这种老式机械传感器的某些固有缺点难以克服,使得地震勘探后期处理效果大打折扣。美国I/O公司已成功开发出以MEMS加速度传感器为基础的新型地震检波器,使地震勘探仪器的性能指标有了大幅度的提高。国内研制MEMS技术的加速度传感器与国外差距仍然不小。本文以国外性能优良的MEMS加速度传感器为基础,自主设计外围辅助电路,进行信号的采集和调理工作,自主研发出性能可靠的MEMS地震加速度计,本文分析了目前加速度传感器存在的问题,并针对非线性、噪声干扰等问题进行了专门的研究,并且对MEMS加速度传感器和传统检波器进行测试对比,得到较好的效果。
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