本文结合一种宏观平面3-RRR并联机器人的研制，建立了全柔性微动工作台的模型。设计该柔性机构时，通过采用免装配、无间隙和无摩擦的柔性铰链代替实际的转动副以及压电陶瓷驱动，实现了工作台x向和y向的微米级位移以及在x—y平面内的微小转动。本文对微动工作台的机构设计、运动学、静力学和动力学问题进行了全面的研究。首先根据课题要求设计微动工作台的结构参数；然后通过工作台的运动约束条件进行了位姿反解、正解，利用常雅克比矩阵法建立了运动学模型，并结合闭合回路理论与坐标转换原理得到了一种线性的运动正解模型，侧面验证了常雅克比矩阵求解的正确性；并在Matlab软件中仿真出微动工作台的理论工作空间。论文随后对微动工作台的静力学和柔性铰链的刚度进行了分析，得到了在静止状态下输入力／力矩与输出力／力矩之间的关系和输出力与驱动位移之间的关系；并通过拉格朗日动力学方程建立了微动工作台总力矩与输入的加速度、速度之间的模型；然后通过有限元分析软件Ansys 10.0对微动工作台的进行静态分析，验证其结构设计满足许用应力的要求。最后，通过设定的实验方案对微动工作台的平面3个自由度的运动进行测量，并和常雅克比矩阵法及有限元分析法得到的结果做比较，得到实验数据和常雅克比矩阵法求解结果比较接近。