【摘 要】
：
MOSFET由于其低成本,小面积,集成化程度较高而作为集成电路的基本单元在集成电路生产技术中被大量采用。为了进一步得到集成度更高的集成电路单元,必须尽可能减小基本结构块“MOSFET”的尺寸。另一方面,为了使集成电路的性能变得更优越,采取创新器件结构的方式开发了几种新型器件,其中以TFET最具代表性。遗憾的是,TFET中也必须形成突变结,电流驱动能力比MOSFET差很多。因此,与主流Fin FET
论文部分内容阅读
MOSFET由于其低成本,小面积,集成化程度较高而作为集成电路的基本单元在集成电路生产技术中被大量采用。为了进一步得到集成度更高的集成电路单元,必须尽可能减小基本结构块“MOSFET”的尺寸。另一方面,为了使集成电路的性能变得更优越,采取创新器件结构的方式开发了几种新型器件,其中以TFET最具代表性。遗憾的是,TFET中也必须形成突变结,电流驱动能力比MOSFET差很多。因此,与主流Fin FET技术相比,没有一种器件具有综合优势。本文提出了一种U形沟道深肖特基势垒的TFET,规避热离子发射电流利用带带隧穿电流取而代之,弥补了TFET正向电流低的不足,通过增大U形沟道垂直沟道的高度可以产生高导通电流。通过较高的肖特基势垒来使热离子发射电流达到最小化,并采用双边栅极产生一个强的带带隧穿（BTBT）电流,作为正向电流的传导机制。引入辅助栅极可以有效地阻止反向偏置漏电流。所提出的新结构的硅体被刻蚀成U形结构。通过刻蚀硅体两侧形成垂直插入式源漏电极,将源漏电极插入U形硅体两侧垂直部分一定高度。此后,源漏电极附近的带带隧穿产生区的有效面积显著增加,从而实现更高的导通电流,低反向漏电流,低亚阈值摆幅和高开关电流比。此外,在此基础之上,通过优化栅极结构,又提出了一种H形栅极深肖特基势垒高导通电流隧穿晶体管,并对两种不同结构进行了参数优化分析,最后得到最优结构,实现优异的电学特性。
其他文献
＜正＞对于站桩,时间、质量非常重要,但最重要的是看有没有"站进去"。什么是"站进去"呢?这个词好像是一个暗语,凡是曾站"进去"过的人,都明白什么意思,无需解释。凡是没有站"进去"的人,又怎么都形容不清楚。有一个最简单的标志,就是眼珠不瞬,眼皮不眨,眼神自然的长时间凝定不动。古人把人体的运动分为外动和内动,四肢百骸的运转移动为外动,而内部气血、内分泌、微循环,这些运动则是内动。只有在心神凝定的时候,
高超声速飞行器在军事国防和民用中都具有重要意义。高速飞行的机体与空气的剧烈摩擦会产生强烈的高温,如果隔热复合材料与机体表面的粘接有缺陷,则会有很大的安全隐患。平面电容层析成像（Electrical Capacitance Tomography,ECT）技术可以通过图像重建的方式实现对复合材料粘接缺陷的可视化检测,但存在着重建图像中伪迹较多、缺陷不够清晰的问题,容易产生误判和漏判。本文针对此问题研究
信息技术的日益成熟离不开微电子技术的不断发展。集成电路作为微电子技术的内核,必须继续朝着低成本、高性能的目标努力,同时还要克服摩尔定律中因尺寸不断缩小而带来的短沟道效应和迁移率降低等问题。如今,集成电路技术已经渗透到我们生活的全方位。由此本文提出了一种具有非易失性浮动可编程门的可重构场效应晶体管（FPG-RFET）。与传统具有编程栅的RFET可重构晶体管不同,新器件引入了非易失性电荷存储层作为浮动
集半导体工艺和传统机械制造技术优势于一身的微机电系统（MEMS）,凭借其结构简单可靠、集成度高、易于批量生产等特点及优异的半导体特性,已成为取代传统机械结构的最佳选择,电容式硅基MEMS微加速度传感器就是应用这种技术的典型成果之一。目前主流的电容式加速度传感器广泛采用各种悬臂梁结构,通过控制质量块的位移改变极板间距或者接触面积引起电容变化,由外部检测电路读取电容从而实现加速度测量功能。但这种结构普
低压差线性稳压器（LDO）具有结构简单、输出电压稳定、纹波小等优点,成为电子芯片产品重要的组成部分。无片外电容LDO作为供电电源使用时,当负载发生突变时,会导致输出电压产生很大的波动,其pf级的负载电容也会严重降低系统环路的稳定性。此外,传统稳压器提供的输出电流较小,高性能处理器和通信模块需要大输出电流的线性稳压器。基于此种情况,设计了一种瞬态增强大输出电流无容LDO芯片电路,在大输出电流时提高环
在现代生产生活中非接触人机交互已经成为一种不可忽视的交互方式,尤其在当前疫情条件下,更突显了它的重要性。对人体动作进行视觉信息采集、识别、分类是这种交互方式的重要实现方法。其中基于人体骨骼点进行动作识别是一种高效的识别方式。本文对基于人体骨骼点的动作识别中的噪声问题进行了相关研究:主要包括对骨骼点模型中大量存在的噪声进行了捕获和分析,对人体动作进行预测以此克服动作缺帧,并且在现有的双流CNN网络基
声学CT温度场重建技术,是一门新兴的非接触式温度场测量技术,具有不干扰被测温场、环境适应能力强等优点。在工业锅炉温度场监测、深海热液口温度分布监测、仓储粮食温度分布监测等领域,有广泛的应用前景。声波飞行时间的测量精度是决定温度场重建精度的一个关键。实际测量环境中有各种各样的环境噪音,例如附近设备的高分贝运行噪声。同一噪音源在各接收器中导致的观测噪声是彼此相关的。常用的互相关时延估计法对非相关的噪声
日益发展的时代,人们对便携式电子设备的需求日益增长。随着需求的增长,产品在飞速发展,设备中芯片的集成度和复杂度也随着设备功能的多样化而大幅度提升,限流电路是实现多元化电源控制的重要组成部分。随着国家综合实力的提升,对应用于宇宙中的航天器材的性能要求也越来越高,只能采用更深纳米工艺的集成芯片才能满足性能指标。然而,伴随着工艺尺寸的缩小带来的是集成电路对空间中辐射的敏感度的提升,尤其对辐射中包含的高能
集成电路设计的主要方向是在实现更高的集成度以及更好的性能。同时,缩减制造成本也是芯片厂商所看重的。本文中,提出一种高集成门形双栅极U形沟道双向隧穿晶体管（GDGUC-BTFET）,采用类似门字形结构的主控栅极包裹住整个器件,辅助栅极与主控栅极使用隔离层进行隔离,围绕在沟道外围,使用U形沟道,可以在无掺杂工艺的情况下实现相比于常规器件更低的亚阈值摆幅、更低的泄漏电流以及更高的开关电流比。之后对器件的
大学英语教学中，教师更多的是注重提高学生阅读和听力理解能力。地方高校学生的英语基础相对较弱，学生在初高中的英语学习中口语一直处于薄弱环节，也没有引起足够重视。其实，大学英语教学要注重培养学生的英语综合运用能力，让学生能学以致用。大学英语口语教学在整个大学英语教学中处于非常重要的地位，教师要充分利用课堂内外的时间来帮助学生提高英语口语能力。作为大学英语教学一线教师，该文作者结合所在学校的教学实际对大