现如今,高反射率即反射率在99.9%以上的光学元器件越来越广泛地应用在定位制导领域,航空航天探测领域以及核领域等的激光光学系统之中,高反射率激光元器件的薄膜参数对这些系统的性能提升和产品质量控制有着举足轻重的影响。因此对于高精密光学元器件表面多薄膜参数的准确检测方法的研究,在光学检测领域内有着长足的发展和进步。目前唯一能够做到精确检测超高反射率的方法是光腔衰荡技术,具有绝对测量、无光强波动影响、测量误差极低等优点。目前的研究仅发展到可以同时检测高反射光学元件表面的反射率和透过率,并没有一套系统可以同时快速的检测高反射激光元件表面的反射率、透过率以及散射。基于光腔衰荡的光反馈技术,以其简单的装置、低廉的成本、超高的测量精度等优势,成为检测高反光学元件的常用方法。本文基于光腔衰荡光反馈技术,对可同时快速检测高反射激光元件表面的反射率、透过率以及散射的技术进行研究,主要包括以下几个方面:(1)从光学表面散射理论出发,对激光光学元件表面散射的分布进行了探究,对比传统的光学表面光散射测量方法,探究基于光腔衰荡法的光学表面散射测量方法。(2)构想了一种基于光腔衰荡理论的能够同时快速地对高反激光元件或高透激光元件的表面散射、透过率以及反射率进行成像或测量的技术。设计搭建了完整的实验系统装置,然后利用搭建好的系统测量了两块高反射率激光元件和一块高透过率激光元件,并对其反射率、透过率和表面散射进行了二维扫描成像和测量。(3)基于Labview平台,设计改进了数据自动化采集系统,编写了反射率、透过率和表面散射的三通道信号单点数据采集程序,改进编写了反射率、透过率和表面散射的三通道信号二维扫描程序。(4)编写了基于MATLAB的数据处理程序,对实验数据进行拟合分析,对成像的数据和光学元器件表面缺陷之间的关系进行了探究。