YBa<,2>Cu<,3>O<,7-x>超薄膜的制备、生长机理及物理性质的研究

来源 :中国科学院物理研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fly8468
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作者用直接磁控溅射法制备出了高质量的一般厚度YBa<,2>Cu<,3>O<,7-x>薄膜及两个原胞厚(25A)到200A的超薄膜.研究了它们的生长规律,发现低沉积率有利于超薄膜的生长.基片加热温度随膜厚减小需适当提高,基本关系为ΔT/Δt=-2℃/4原胞(t:膜厚).用X射线衍射,SEM,STM及原子力显微镜AFM等分析手要着重研究了不同厚度的YBa<,2>Cu<,3>O<,7-x>超薄膜的晶体结构和表面形貌,讨论了YBa<,2>Cu<,3>O<,7-x>薄膜的早期成核,生长机理.发现在超薄膜中岛的螺旋生长和台阶生长并存,其中台阶生长占主要地位.并讨论了螺旋位错及岛与岛相连时造成的各种缺陷在薄膜中所起的钉扎作用.对不同厚度的YBa<,2>Cu<,3>O<,7-x>超薄膜的超导电性进行了研究.
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