微波贴片无源元件无损测试技术研究

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随着科学技术的发展和工业化进程的加快,器件和系统的小型化和低功耗已成为当前追求的热点。在这样的背景下,研究微波频段贴片无源元件的测试方法,精确地获取其特性参数,对于提高无源元件的生产效率和精度,推动微波电路的发展和进步具有长远的意义。本文在10MHz14GHz频率范围内对贴片无源元件进行了测试,并对实际测试中的不连续性做了简单的分析、仿真和去除,最后多次重复实验的结果验证了测试方法和测试夹具的准确性和可靠性。本文主要的工作包括:首先,回顾了测试仪器的发展和校准理论的更新,讨论了贴片无源元件的测试方法和相应的夹具。由于需要测量无源元件的高频数据,因此选择矢量网络分析仪和测试夹具来实现贴片无源元件的无损测试。其次,在细致考察了矢量网络分析仪的误差的基础上,分析并推导了矢量网络分析仪的误差模型。根据本文的测试需求,采用SOLT和TRL相结合的校准方法,在较宽的频率范围内实现了比较理想的校准结果。设计了相应的夹具和校准件,并利用同轴校准后的矢量网络分析仪对校准件进行验证。验证结果表明能够满足贴片元件的无损测试设计需求。随后,研究了贴片无源元件的高频等效模型,在此基础上建立了测试的等效电路,讨论了测试电路中存在的不连续性。利用软件仿真了不连续性的影响,并使用MATLAB编写了数据处理程序,在去除了不连续性的影响之后,获取其特性参数,并将数据写入到S2P文件中。最后,测试了常用的贴片无源元件,数据处理后,将测试结果同厂家给出的结果对比并进行误差分析和一致性验证。实际的结果表明本文的提出的SOLT和TRL相结合的校准方法能够在10MHz14GHz频率范围内完成校准;测得的贴片电感谐振频率的误差在3%以内,1GHz以内贴片电阻的阻值误差在5%以内;多次重复测试的结果表明S21幅度相差小于0.5dB,相位差小于1.2°,具有良好的一致性。上述结果验证了本文讨论的不连续性等效的合理性以及所设计的校准夹具和测试方案的可行性。
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