MOS器件工艺参数提取

来源 :清华大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangchuan2ll

【摘要】

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该文利用SILVACO公司提供的UTMOST参数提取软件,建立了MOS管和双极型晶体管的参数提取策略,并用清华大学微电子所工艺线提供的测试数据进行了验证.该文重点讨论了参数提取策

【作者】

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吴代远

【机构】

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清华大学

【出处】

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清华大学

【发表日期】

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2001年期

【关键词】

：

BSIM3V3模型 GP模型参数提取局部优化

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该文利用SILVACO公司提供的UTMOST参数提取软件,建立了MOS管和双极型晶体管的参数提取策略,并用清华大学微电子所工艺线提供的测试数据进行了验证.该文重点讨论了参数提取策略的制定原则及在UTMOST上建立的方法.对于MOS管的BSIM3V3模型,从模型参数的可按尺寸比例缩放的特点考虑,并根据模型的可分解性,建立了使用器件组进行局部优化的提取策略.

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