铟锡氧化物（ITO）薄膜的制备工艺和性能研究

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【摘要】

：

本论文研究分2个部分:1)用溶胶—凝胶法制备ITO薄膜,并对其形貌以及结构、电学和光学性能进行表征以四水氯化铟为先驱体,以乙酰丙酮为溶剂,以五水氯化锡为掺杂剂,利用溶胶—凝胶工艺,采用旋涂法制备了ITO透明导电薄膜。采用XRD、SEM、Raman Spectrum、四探针电阻率仪、UV/VIS/NIR分光光度计等仪器对ITO薄膜的物相、表面和断面形貌以及电学、光学性能进行了测定。本试验通过考察在不

【作者】

：

辛科

【机构】

：

兰州大学

【发表日期】

：

2008年05期

【关键词】

：

铟锡氧化物(ITO) 薄膜溶胶-凝胶法热处理形貌温度-湿度金属原子浓差腐蚀

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