随着科学技术的不断创新,光学工业、航空航天、精密加工等行业取得了长足的进步,工业工程已经步入精密、超精密时代。精密装备对周围环境振动影响极为敏感,系统较为复杂,往往输入荷载的微小变化会引起振动响应产生较大的误差,输入荷载的不确定性会在计算结果中得到严重放大,严重影响分析和设计的精准性。为了保证精密装备的正常使用,必须对影响精密装备的振动进行高效的控制。本文介绍了高性能气浮平台的隔振原理及设计方案,针对目前常规设计流程中存在的问题及不足,提出了一种高效的气浮平台振动控制设计方案,在中科院纳米所精密装备的振动控制项目中,以该设计方案作为指导,对精密设备周围环境振动水平做出准确评价,获取环境振动卓越频率,使用Ansys有限元软件计算分析气浮平台的隔振性能,结合建筑结构和环境要求确定气浮平台设计参数,最后提出适用于类似工程的不停机无损施工技术,研究结论可为气浮平台的应用提供理论基础和技术指导。