超重力环境下AlCl3-[EMIM]Br离子体电沉积铝的研究

来源 :北京化工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dongjuanqiu
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高纯氮的保护下,在70℃的恒温水浴中,配成不同摩尔比的AlCl3-[EMIM]Br离子液体,实验测得离子液体的电导率随着温度变化遵循阿伦尼乌斯定律,温度升高,电导率增大;而电导率会随着AlCl3摩尔比的增加而逐渐减小。   在常规重力和超重力环境下,在摩尔比2∶1AlCl3-[EMIM]Br离子液体中分别进行恒电流和恒电压沉积铝实验。研究重力系数,电流密度,电压,温度,搅拌速度和沉积时间对阴极铝沉积速率和沉积效率的影响。   在常规重力环境中,实验表明:恒电流下,沉积速率随着电流密度,温度,搅拌速度的增大而逐渐增大,沉积时间对沉积速率的影响较小;电流密度,温度,搅拌速度和沉积时间过大,沉积效率反而会降低。恒电压下,沉积速率随着电压,温度,搅拌速度的增大沉积速率逐渐增大;温度过高,电压过大,沉积效率会降低。   超重力环境下,结果得出:随着重力系数的增加,沉积速率逐渐增加,沉积效率先增大后减小。在相同电流密度,温度,和沉积时间下,超重力下的沉积速率和效率均高于常规重力。   恒电流条件下,采用SEM分析沉积铝层表面形貌,EDS测试沉积铝的纯度。结果表明:在电流密度为20mA·cm-2,温度40℃,时间60min的条件下,超重力下的阴极铝层比常规重力下连续致密,附着性好,粒径小且呈颗粒状的铝沉积层;阴极沉积铝的纯度较常规重力高。采用XRD分析阴极铝的晶粒结构,实验发现:在超重力环境下,随着重力系数的增加,铝晶粒各面的出峰角度逐渐接近标准值(PDF),铝晶粒缺陷小。   恒电压条件下,超重力下得到的铝的沉积速率和效率均高于常规重力,SEM观察阴极表面形态,实验表明:在电压为4V,温度40℃,时间60min的条件下,超重力环境下能够得到比常规重力更致密,颗粒结构更均匀的铝层。EDS分析其阴极的纯度,XRD分析晶粒结构,结果表明:随着重力系数的加大,纯度也逐渐提高,阴极铝的含量可达98.71%,(111)面择优取向较明显。
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