【摘 要】
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将微流控芯片分析技术与表面增强拉曼散射光谱技术结合起来,用于生化检测已经成为研究的热点。本文基于微流控芯片技术与SERS技术,采用不同的SERS基底制备了微流控SERS芯片,同时利用芯片完成了对生理尿液的SERS检测。主要工作如下:1、通过纳米球光刻、金属蒸镀、原子层沉积和真空退火等工艺制备了内嵌颗粒纳米孔结构阵列。利用时域有限差分算法(FDTD)仿真了结构的电磁学特性,结果表明,该结构的主要电磁
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将微流控芯片分析技术与表面增强拉曼散射光谱技术结合起来,用于生化检测已经成为研究的热点。本文基于微流控芯片技术与SERS技术,采用不同的SERS基底制备了微流控SERS芯片,同时利用芯片完成了对生理尿液的SERS检测。主要工作如下:1、通过纳米球光刻、金属蒸镀、原子层沉积和真空退火等工艺制备了内嵌颗粒纳米孔结构阵列。利用时域有限差分算法(FDTD)仿真了结构的电磁学特性,结果表明,该结构的主要电磁增强集中于嵌入颗粒与孔底部接触部位。利用倾斜蒸镀法制备了银纳米柱结构。利用FDTD仿真了长度从400nm
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