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现有半导体金属氧化物气体传感器的灵敏度较低,选择性和稳定性较差,且功耗较高,使其广泛应用受限,因此改善这些不足是目前的主要研究内容。本文选用静电纺丝法制备出一维介孔In2O3纳米纤维,并做了TG-DTA、XRD、SEM和TEM表征。后以In2O3为基体材料,对其进行不用浓度的CdO复合和Cd掺杂,将复合材料制作成气敏元件,研究了掺杂剂及掺杂比例的不同对In2O3气敏特性的影响,并进行相关气敏机理分析。最后,本文研究了In2O3与TiO2纳米纤维以摩尔比1：1复合时,气敏元件在加热和紫外光激发下两种工作条件下的气敏特性,并分析两种条件下的气敏机理。本论文的主要研究内容包括以下三部分：一、用电纺丝法制备了In(NO3)3/PVP前驱物,在500℃、600℃、700℃三种温度下烧结得到In2O3纳米纤维。相关表征及气敏测试表明,500℃烧结所得的纳米纤维呈介孔结构,粒径为最小,约为24nm,对甲醛响应最高。用电纺丝法进一步合成CdO,并将In2O3与之以不同摩尔比(1：1、10：1、20：1)复合,对比测试了纯In2O3及In2O3/CdO复合材料的气敏特性,结果表明当In2o3与CdO以摩尔比10：1复合时,表现出最佳的气敏特性,工作温度为200℃,对10ppm甲醛的响应为13.6,响应/恢复时间为140s/32s。二、用In(NO3)3·4.5H2O与Cd(NO3)2·4H2O为主要原材料,以In/Cd摩尔比分别为20/1、10/1、1/1混合配制成三种不同的纺丝前驱液,纺丝后在500℃烧结成纳米纤维,XRD、SEM及TEM表征说明,三种纤维的直径依次约为52nm、76nm、88nm；粒径依次约为19nm、24nm、42nm。气敏特性测试表明,In/Cd摩尔比为10/1的纳米纤维(In10Cd1)气敏性能最好,其最佳工作温度为280℃时,对10ppm甲醛的响应为15.2,且对甲醛表现出良好的选择性。三、用电纺丝法合成TiO2纳米纤维,XRD、SEM及TEM表征说明纤维直径约为80nm,粒径约为32nm。将TiO2与已制备的介孔In2O3纳米纤维以摩尔比1：1复合后制成气敏元件。对比测试该气敏元件和纯In2O3气敏元件分别在280℃加热下和室温紫外光激发的条件下对甲醛的响应。结果表明,两种条件下复合材料的气敏特性均优于纯In2O3。复合材料的气敏元件在加热时对1ppm甲醛的响应可达6左右,响应/恢复时间为60s/80s,但加热时湿度对元件响应的影响较大。紫外光激发条件下,元件对100ppm甲醛的响应约为4.8,对100ppm甲醛的响应/恢复时间为170s/320s,但是紫外光激发时湿度对元件响应的影响很小。