Me-Si-N薄膜的制备与性能表征

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本文以磁控溅射和离子束辅助沉积两种方法制备了Me-Si-N薄膜(Hf-Si-N、Zr-Si-N),借助扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)研究了薄膜的表面形貌、微观组织和相结构;通过纳米力学综合测试系统、摩擦磨损实验、电化学工作站研究了Si元素含量对薄膜的摩擦磨损性能、纳米力学性能及耐腐蚀性能的影响;采用蛋白质表面吸附实验和血小板黏附实验研究了Me-Si-N薄膜对生物医用金属材料表面生物相容性的影响;并通过接触角测试和
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