拓扑优化设计是柔顺机构的研究热点之一。本文以柔顺机构的多目标拓扑优化设计为研究目标，开展了相关工作。首先，以SIMP作为拓扑优化的材料插值方法，利用其中的惩罚项对拓扑优化中容易出现的中间密度单元加以限制；针对优化过程中出现的棋盘格等数值不稳定现象，利用敏度过滤技术来解决。其次，构造了以体积比为约束、以柔顺机构输出位移最大化为优化目标的拓扑优化模型，并利用有限元方法分别采用优化准则法和MMA算法两种优化求解算法对反向器进行了优化，结果表明两种方法得到的最大输出位移基本一致，证明了两种算法的有效性。再次，建立了自由振动情况下，柔顺机构的特征值优化模型。在对特征值优化的过程中，本文采用了波尔森原理对局部模态进行抑制，从得到的拓扑图可以看出，这种方法是行之有效的。最后，结合多目标优化原理，利用妥协规划法建立了以柔顺机构输出位移最大、一阶固有频率最大为目标的多目标拓扑优化模型。通过典型算例，计算得到不同权值下各单目标的优化值，并利用决定函数找到最优妥协解，验证了模型的可行性和有效性。