MEMS高g值加速度传感器是MEMS技术应用于引信侵彻过程惯性测试与控制的关键之一。本课题的主要任务是研制基于武器弹药系统高过载侵彻过程的引信用MEMS加速度传感器,主要技术指标有量程150000g;抗过载200000g。该项研究成果的应用必将为我国各种攻击性武器的研制、设计和定型起到积极的推动作用。论文选择压阻式加速度传感器作为研究对象,首先建立结构的力学模型,在此基础上进行了结构的应力分析、频率分析及阻尼分析,从而完成结构参数的优化及确定,并利用simulink对已确定的结构进行二阶系统分析,包括正弦函数输入响应和冲击函数输入响应。运用有限元软件ANSYS对该加速度传感器结构进行了静态仿真、模态仿真和瞬态动力学仿真,仿真分析了加速度传感器的量程、安全系数、抗过载性能、频率响应、响应时间及200000g瞬态冲击下的幅值响应。确保该结构在200000g过载环境下可以安全可靠的工作。同时,根据静态应力仿真结果进行压敏电阻位置及结构参数的优化,从而完成传感器输出和灵敏度分析。结合加工单位工艺特点,设计了结构版图和工艺流程,并对关键工艺进行讨论。然后对加工出的传感器样片进行初步的单芯片封装,最后通过马歇特对比冲击试验和霍普金森激光干涉冲击试验对传感器进行了初步动态测试及标定。