【摘 要】
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自准直仪是一种精密角度测量仪器,在实现小角度的多维、非接触测量中具有独特的优点,它利用光学自准直成像的原理来实现在一定范围内测量物体的角度变化量,被广泛应用于导轨平台
【出 处】
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中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所)
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自准直仪是一种精密角度测量仪器,在实现小角度的多维、非接触测量中具有独特的优点,它利用光学自准直成像的原理来实现在一定范围内测量物体的角度变化量,被广泛应用于导轨平台的直线度、精密平台的平面度等测量领域。自准直仪分为光学自准直仪和光电自准直仪,光电自准直仪是自准直仪和光电技术相结合的产物。国内光电自准直仪的精度较低,提高光电自准直仪精度的研究势在必行。本文针对如何提高光电自准直仪的分辨率及精度进行研究,研究内容表现在以下几方面:1、将三次样条插值应用到成像器件的细分中,提高自准直仪成像器件的分辨率。2、利用光栅叠加所形成的莫尔条纹在光学上提高光电自准直仪的分辨率和精度。通过实验验证,上述两种方法在提高自准直仪分辨率及精度方面是有效可行的。
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