【摘 要】
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在材料科学的各个分支中，薄膜材料科学的发展一直占据了极为重要的地位。TiO_2，ZnO薄膜具有优良的介电、压电、气敏和光催化等功能，在微电子、光学、传感器和光催化等方面有着重要的应用。分别以高纯金属钛、锌为靶材，氧气为反应活性气体，采用射频磁控溅射法制备金属薄膜以及以射频磁控反应溅射法沉积金属氧化物薄膜，对制备的金属薄膜在不同的温度下空气气氛中进行热处理，开始反应生成各自的金属氧化物。对以射频反应
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在材料科学的各个分支中，薄膜材料科学的发展一直占据了极为重要的地位。TiO_2，ZnO薄膜具有优良的介电、压电、气敏和光催化等功能，在微电子、光学、传感器和光催化等方面有着重要的应用。分别以高纯金属钛、锌为靶材，氧气为反应活性气体，采用射频磁控溅射法制备金属薄膜以及以射频磁控反应溅射法沉积金属氧化物薄膜，对制备的金属薄膜在不同的温度下空气气氛中进行热处理，开始反应生成各自的金属氧化物。对以射频反应磁控溅射法沉积金属氧化物薄膜在马弗炉中不同温度下加热进行退火处理。沉
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