当前,以光学玻璃、碳化硅、结晶硅等为原材料的光学元器件得到了广泛应用。在光学元件及其模具的制造中,为了得到理想的表面质量,利用微细砂轮对其进行精密磨削是最为可靠的手段。而传统的微细砂轮中存在的一个普遍问题是磨粒排布无规律,磨粒聚集现象较多,导致磨削表面质量不均匀。本文提出采用静电喷雾的方式喷射金刚石磨粒以获得均匀分布的金刚石磨粒,提高砂轮磨削表面质量。本文对磨粒静电喷雾的原理及实验进行了探讨,主要研究内容包括以下几点:（1）从带电液滴的破碎、液滴的运动受力、和静电雾化过程等方面揭示了金刚石磨粒在静电场中的分布机理。用Maxwell软件对喷嘴电极和环状电极间的电场进行了仿真,分析了针-环电极的电场分布特性及电场强度随电极电压、电极间距、环状电极直径、喷嘴电极直径的变化情况。（2）设计并搭建了金刚石磨粒喷雾装置,解决了装置射流偏向的问题。在吐温80和煤油体积比3:1的条件下制备了稳定分散的金刚石磨粒悬浮液,其在静置6h后仍保持着较好的稳定性,分析了悬浮液成分、磨粒浓度及磨料粒径对悬浮液稳定性的影响。用分布均匀度、分布密度、分布范围三个指标对金刚石磨粒的分布情况进行评价,并比较分析了网格法和截距法两种颗粒定量化方法的优缺点,最后采用图像处理的方法对金刚石磨粒进行自动计数。（3）对影响金刚石磨粒分布的几个参数进行了实验分析,结果发现电极电压的变化将改变喷雾模式,对金刚石磨粒分布的影响最为直接,锥射流模式下颗粒的分布情况最好。在电极电压6kV、液体流量10mL/h和接收距离30mm的条件下,可以得到均匀度92.4%,分布密度8.085×10^-3μm^-2的颗粒分布。通过观察不同范围内的金刚石磨粒分布,发现颗粒主要分布在距喷雾中心5mm的范围内。实验研究了喷雾参数对单个液滴中包含的金刚石磨粒数目的影响,有助于进一步了解磨粒在静电场中的分布情况。