论文部分内容阅读
本论文主要研究了Fe-Zr-B磁性薄膜的制备工艺和结构性能，获得了良好性能的薄膜，并讨论了其中的机理。文中采用直流磁控溅射技术制备了Fe-Zr-B薄膜，利用XRD，TEM，XPS，穆斯堡尔谱学等测试方法对薄膜的结构进行了表征。结果表明沉积态的薄膜均为非晶态，XPS显示沉积态薄膜表面Fe，Zr，B元素均有不同程度的氧化，较深层部分以Fe、Zr、B结合为主，这是由于制备好的样品在大气中保存造成的