频率调制开尔文力显微测试系统的开发和应用研究

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【摘要】

：

扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)发展到今日已经广泛应用在科学研究的各个领域。根据扫描过程中提取信号的不同,扫描探针显微术衍生出许多分支,可以满足不同测试分析的需要。在SPM家族中用于材料表面电势测量的测试系统称为开尔文探针力显微镜(Kevin Probe Force Microscope,KPFM),它对于测量导体、半导体的功函数方面具有不可替代的作用。

【作者】

：

丁艳飞

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2017年12期

【关键词】

：

扫描探针显微镜频率调制开尔文探针力显微测试系统二维异质结光电特性

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