针对钛合金在较高温度下氧化腐蚀严重和溶氧致脆问题,本文采用了电弧离子镀技术在Ti6Al4V合金上制备了Ti_0.7Al_0.3N、Ti_0.5Al_0.5N、Ti_0.5Al_0.5N/Ti_0.7Al_0.3N、Ti_0.6Al_0.3Si_0.1N和Ti_0.6Al_0.3Si_0.1N/Ti_0.7Al_0.3N五种涂层,研究了其在550⁷50°C的抗恒温和循环氧化性能以及在450⁵50°C耐腐蚀性能,探讨了其防护机理。Ti_0.7Al_0.3N、Ti_0.5Al_0.5N、Ti_0.5Al_0.5N/Ti_0.7Al_0.3N、Ti_0.6Al_0.3Si_0.1N/Ti_0.7Al_0.3N和Ti_0.6Al_0.3Si_0.1N五种涂层在650°C和750°C恒温氧化时,都降低了基体合金Ti6Al4V的氧化速率。650°C所有涂层表现出较好的抗氧化性能,对基体合金提供了有效的防护。而在750°C,未添加Si的Ti_0.7Al_0.3N、Ti_0.5Al_0.5N、Ti_0.5Al_0.5N/Ti_0.7Al_0.3N三种涂层不能对基体合金提供有效的防护。而添加Si的两种涂层样品750°C恒温氧化后仍然完好,涂层表面形成一层连续的以Al₂O₃为主的氧化膜,抗氧化性明显能优于未添加Si的涂层,原因在于添加Si促进了保护性Al₂O₃层的形成。Ti_0.7Al_0.3N、Ti_0.5Al_0.5N、Ti_0.5Al_0.5N/Ti_0.7Al_0.3N、Ti_0.6Al_0.3Si_0.1N/Ti_0.7Al_0.3N和Ti_0.6Al_0.3Si_0.1N涂层显著提高了Ti6Al4V在550oC和650oC抗循环氧化性能。氧化后涂层表面形成薄而连续的保护性Al₂O₃膜,有效阻止了氧在合金基材中的溶解和扩散。在750oC时,Ti_0.6Al_0.3Si_0.1N涂层和Ti_0.6Al_0.3Si_0.1N/Ti_0.7Al_0.3N复合涂层涂覆的Ti6Al4V仍表现出非常好的抗循环氧化性能,而Ti_0.5Al_0.5N涂层和Ti_0.5Al_0.5N/Ti_0.7Al_0.3N复合涂层则不能对钛合金基体提供有效的防护。含Si涂层的抗循环氧化性能优于不含Si涂层的原因在于添加Si促进了保护性Al2O3膜的形成。在450 oC固态NaCl盐与水蒸气共同作用下,Ti6Al4V合金遭受到了严重的腐蚀。施加Ti_0.5Al_0.5N、Ti_0.5Al_0.5N/Ti_0.7Al_0.3N、Ti_0.6Al_0.3Si_0.1N、Ti_0.6Al_0.3Si_0.1N/Ti_0.7Al_0.3N涂层显著降低了基体合金的氧化速率,提高了其抗腐蚀性能。Al含量较高的Ti_0.5Al_0.5N/Ti_0.7Al_0.3N复合涂层和Ti_0.5Al_0.5N抗腐蚀性能最好。新制备的Ti0.5Al0.45Si0.05N涂层在550°C固态NaCl与水蒸气共同作用下表现出优异的抗腐蚀性能。