在惯性约束核聚变试验(ICF)中,激光与等离子体相互作用中相当大部分的激光能量被等离子体吸收后转为X射线辐射,通过诊断激光等离子体发射的X射线能谱可以研究激光与物质的相互作用、等离子体中原子物理过程及高温物质的特性等。本文的工作就是寻求一种满足对高强度脉冲软X射线能谱进行快速、准确测量需求的能谱测量方法。测量方法与解谱技术是软X射线能谱测量领域中的两个关键突破点,本文在深入研究国内外相关成果的基础上,提出了一种基于碳化硅半导体探测器的软X射线能谱测量方案。该方案采用的测量方法与传统方法的区别在于不采用独立分光元件,而是利用阵列式探测器同时实现分光作用与探测作用。阵列式探测器采用厚度各异的探头实现对待测X射线的吸收率阶梯式增加,该能谱测量方法也因这一特点命名为阶梯吸收法。本文采用Geant4蒙特卡罗软件为阶梯吸收法能谱测量系统建立了一套探测器响应函数模型,将复杂的反解能谱问题提炼为求解线性方程组的问题。由于方程组中探测器响应矩阵多为病态矩阵,仅从数学角度是不可解的,必须依靠物理问题本身的特性增加约束条件。本文根据响应函数特点设计了一种新型解谱算法—两步逆向迭代法。两步逆向迭代法由两部分组成,本质上属于迭代法范畴。根据两步逆向迭代法解谱步骤编写了 MATLAB解谱程序,并求解得到了三种软X射线源的能谱分布,结果与原始能谱符合较好,证明了解谱方法的正确性和准确性。将两步逆向迭代法与GRAVEL方法对比,结果表明两步逆向迭代法在求解软X射线能谱方面具有更好的效果。