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1994年,日本三洋公司研发了一种用氢化非晶硅层作为发射层,n型织构单晶作为衬底的高效异质结太阳电池。这种太阳电池同时具备了非晶硅和晶体硅太阳电池的优点,尤其是非晶硅对晶体硅表面具有异常优越的钝化能力同时起窗口层的作用,不但能大大提高电池效率,而且在工艺上易于实现。目前,文献报道国内在n型衬底和p型衬底上制备的HIT电池效率与三洋公司的结果存在一定的差距,对于非晶/单晶异质结太阳电池机理和实验现象还有待进一步研究。1.本文采用德国的HMI研发的AFORS-HET软件模拟了N型衬底非晶硅/