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本文首先对显示技术的发展和多晶硅薄膜的制备方法以及应用前景进行了综述,同时对Ni金属诱导非晶硅横向晶化制备多晶硅的研究现状以及诱导机理与应用等进行了系统概述。 多晶硅薄膜晶体管(p-Si TFT)液晶显示器可以实现高分辨率、高集成度、同时有效降低显示器的功耗,因而成为目前平板显示领域主要研究方向;而以横向晶化多晶硅为有源层的TFT由于在导电方向有更少的晶界、更低的金属杂质污染、更高的载流子迁移率而成为目前有源矩阵液晶显示领域、投影显示、OLED显示等领域研究的热点。本论文系