ECR等离子体用于高分子材料表面处理的研究

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该文主要研究的是用ECR微波等离子体对难粘的聚四氟塑料进行表面处理,以改善其表面粘接性能,提高其胶接强度的方法.在实验中,研究了N<,2>、H<,2>、Ar、普通空气等不同的处理气体在不同的放电气压、放电功率、处理时间等各种工艺条件下对被处理材料的表面粘接性能及其它相关性质如表面电阻,试样外观等的影响.通过对实验条件的选择,使处理后样品的表面性能获得了十分显著的提高;研究了处理后样品的时效性,并提出了延长时效的方法.由此初步确定了较好的处理方法和条件.用以探针、离子能量分析器测量了等离子体中各种条件下相应的离子密度、离子能量等等离子体参数,发现等离子体的密度是影响处理结果的关键.并通过对红外吸收谱测样品成分的测量,单色仪测量等离子体的发射光谱等实验结果的详细分析,对处理过程的机理进行了初步的探讨.同时,对等离子体表面改性的"弱表面层"理论在某些条件下的不适用性提出了自己的看法.
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