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随着科技的发展，透明导电薄膜得到了越来越多的应用，例如各类触摸屏、太阳能电池、液晶显示器等。到目前为止，最常用的是基于In2O3，ZnO或SnO2透明导电氧化物(Transparent and Conductive Oxides，TCO)，但是新型的设备对透明导电材料提出了更高的要求，比如更低的电阻率、更高的透过率和更好的环境稳定性等。介电层/金属层/介电层(Dielectric/Metal/Dielectric，D/M/D)结构多层透明导电薄膜由于可以得到优于单层TCO或金属电极的光学、电学性能，而且可以在低温下沉积到廉价的塑料衬底上，因此是一种很好的替代品。 本论文中，首先根据电磁波传播矩阵理论模拟不同结构多层薄膜在550nm处透过率并选取最优结构，之后利用磁控溅射方法在K9玻璃和PET塑料(Polyethylene Terephthalate)衬底上分别制备了ZnS/Ag/ZnS(ZAZ)和ZnS-SiO2/Ag/ZnS-SiO2多层薄膜。为了获得更优良的光、电性能，对部分样品进行了退火处理。通过掠面X射线衍射(Glancing angle X-Ray Diffraction，GXRD)和聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam Scanning ElectronMicroscopy，FIB-SEM)对样品的微观结构和表面形貌进行表征。样品的电学性能和光学性能则分别用Hall效应测试仪和紫外/可见分光光度计进行了测试。 考虑到样品的导电性能，在K9玻璃上分别制备了ZnS(43nm)/Ag(10nm)/ZnS(43nm)和ZnS(43nm)/Ag(12nm)/ZnS(43nm)多层薄膜。GXRD结果表明ZnS和Ag均为非晶态。光学、电学性能测试结果显示Ag膜层厚度对样品性能影响很大，当Ag膜层厚度为12nm时样品性能较优，其最高透过率达到83.3％，表面电阻最低为14.1Ω/sq，性能指数为8.52 mΩ-1。 为了进一步提高样品的透光性能和导电性能，在K9玻璃上制备了ZnS-SiO2(46nm)/Ag(11 nm)/ZnS-SiO2(46nm)多层薄膜。实验结果表明样品在200℃退火后性能最优，最高透过率为88.4％，表面电阻达到9.7Ω/sq，性能指数为25.9mΩ-1。对300℃退火后样品的X射线光电子能谱测(X-ray PhotoelectronSpectroscopy，XPS)测试结果表明:退火加速了Ag粒子的扩散，导致样品光、电性能的下降。为了测试样品的环境稳定性，我们将样品在85℃，85％RH条件下老化100h，之后将其与老化前样品进行对比，结果显示样品性能变化较小，显示出优良的湿热稳定性。 为了进一步拓展ZnS-SiO2/Ag/ZnS-SiO2多层薄膜的应用，在PET衬底上制备了同样结构的薄膜并对其分别进行了弯折和老化测试。结果显示PET衬底较大程度地降低了样品的光、电性能，样品最大透过率为71.57％，表面电阻最低为35.44Ω/sq，性能指数降至0.716 mΩ-1。老化实验结果显示样品具有优异的环境稳定性，而弯曲实验则表明样品在1000次弯折后透光率下降较多，导电性能下降严重。