涡旋干式真空泵具有泵内清洁无油、工作压力范围宽、体积小、振动小、噪声小等优点,被广泛应用于各种清洁真空环境,如半导体制造、生物制药等行业。噪声及振动大小是涡旋真空泵主要性能指标之一,对于机械设备噪声越小越好,研究涡旋泵流体噪声的产生机理及降噪措施具有重要意义。本文主要针对干式涡旋真空泵的气动噪声问题展开研究。对现有两台抽速相同,生产厂家不同的涡旋泵进行噪音及排气流动过程测试,并对实验结果进行分析。首先对泵的工作状态进行控制,将泵进气口与真空容器相连接,对该真空容器进行抽气,改变阀门的开度将泵的入口压力分别控制在1O1kPa、80kPa、60kPa、40kPa、30kPa等压力下,对应不同负载条件下的工作情况。借助粒子图像测速系统(Particle Image Velocity,简称PIV)设备对其不同压力下的排气流场进行测试,得出两台泵在不同的入口压力下的排气速度大小和速度分布情况。其次,由对涡旋泵内部流场模拟得到的排气口压力大小,将该结果作为排气过程模拟计算的起始条件,对入口压力为1O1kPa的排气情况进行计算流体力学(Computational Fluid Dynamics,简称CFD)模拟,得出该压力下的排气速度,气体运动情况。模拟结果与试验测试结果对照,分析了泵的不同结构对排气流动的影响。最后按照国家标准对两台泵在不同工作压力下的噪声大小进行测试。根据标准在距离泵1米的八处不同的位置进行噪声测定,分别得出泵在不同工作条件下的A计权噪声全频段大小,随着入口压力降低,2000Hz～7000Hz频率范围内的噪声值会降低,2000Hz以下的噪声大小不会改变,消音器可以减小流体噪声,范围是101kPa～40kPa,在10kPa～30kPa入口压力范围内,噪声会突然增大,噪声频率主要集中在300Hz左右。根据真空泵振动测试标准进行实验测试,发现涡旋真空泵振动很小,在各入口压力下的机械振动情况大致相同,流体噪声与机械振动无关。