一维纳米结构导热系数测量的3ω法和悬空微器件法的对比研究

来源 :东南大学 | 被引量 : 1次 | 上传用户:jimgui19810917
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
3ω法和悬空微器件法已广泛的应用于一维纳米结构导热系数测量中。目前3ωω法和悬空微器件法的准确性还没有统一判据。研究同一根一维纳米结构导热系数可作为3ωω法和悬空微器件法准确性的判据。搭建了3ω法一维纳米结构导热系数测试平台,并利用体态材料Si和直径19μm的Pt线分别标定了3ω法测试平台。样品体态Si与香港中文大学是同一批样品,测量得到体态Si的导热系数和香港中文大学的测试结果在多数温度点下的误差在10%以内,表明3ω法测试电路是正确的。测量得到直径19μm的Pt线在室温300 K的导热系数为67.5W/mK,与文献值71.6 W/mK误差为5.7%,计算得到总的测量相对不确定度为7.19%。可以认为Pt线导热系数与文献值吻合较好,表明了3ω法测试一维纳米结构过程中数据处理是正确的。利用3ω法和悬空微器件法对比研究了Bi2Se3纳米带导热系数在3ω法和悬空微器件法测试平台上的测试结果。三根单根Bi2Se3纳米带导热系数测量结果显示3ω法导热系数的测量结果大于悬空微器件法导热系数测量结果,偏大的原因并不能用过大的接触电阻来解释,还需进一步的研究。研究了辐射换热对悬空微器件温度的影响,测量SiNx薄膜和基底温度的差异,结果表明当使用3层遮热罩时,SiNx薄膜和基底温度可以认为相同,当使用2层遮热罩时,SiNx薄膜温度最高比基底温度低0.4 K,当使用1层遮热罩时,由于辐射换热的影响,360 K时基底温度比SiNx薄膜温度高11.8 K。因此在悬空微器件法一维纳米结构热物性测试平台上,为了减少辐射换热对一维纳米结构导热系数测量带来的误差,必须至少使用2个遮热罩。
其他文献
摘 要:随着信息时代的到来,网络技术及电子信息得到了迅速法发展,电子信息工程技术作为信息时代快速发展形成的产物,一直以来都备受人们的关注。在各行各业的领域中离不开电子信息工程技术的应用,影响着人们的生活和工作,成为了国民经济的支柱产业,对于各行业的发展来说起到了巨大的推动作用。本文首先介绍了电子信息工程技术,分析了电子信息工程技术应用的重要作用,结合实际情况探讨了目前电子信息工程技术应用中存在的主
纳米孔通道是指尺寸在0.1-100nm之间的孔或管状结构,可分为人工纳米孔和生物纳米孔两类,而人工纳米孔又可以分为单纳米孔通道和纳米孔阵列通道。由于纳米孔通道所具有的微尺
模块化静态可重组工业机器人是一种结构特点鲜明的柔性工业机器人,具有机构简单、多功能、高稳定性和高性价比等优点,它是工业机器人在企业生产中得以推广和普及的一个发展方
新课程推行以来,人们大量运用新材料于课堂教学,这对于转变教学方式,发展学生的学科思维能力起了重大的积极作用.然而人们在铺天盖地使用新材料时却出现了几种令人担忧的不良
期刊
本文从液压螺栓相关数据计算、液压拉伸器以及螺栓拉伸工艺流程进行探讨研究,总结相关注意事项和优化主汽阀螺栓拉伸工艺方法,并在三门核电实现了良好的应用,有助于处理拉伸
期刊
期刊
维护对于工业生产设备、军事装备以及交通运输工具等系统的正常工作或安全运行具有重要作用。随着市场竞争的日趋激烈,企业面临着不断降低成本的巨大压力,设备的维护费用作为
期刊