面向微机械超声换能器的高线性度全集成发射前端电路研究与设计

来源 :龚振宇 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaohaojed
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目前医学超声成像系统正朝着高精度、小型化的方向发展。面向微机械超声换能器(MUT)的前端集成电路可与MUT一体化构成微机械有源传感器,凭借体积小、带宽等优势,在医学超声领域中应用前景广阔,尤其是在如眼球、血管、心脏造影等高精度成像方面发挥至关重要的作用。面向MUT的前端集成电路研究也成为微电子、生物医学工程等交叉领域的新兴热点。对于先进的高精度超声成像算法,往往需要发射如连续调频等需要数模转换(DAC)才能产生的特定模拟超声信号,而现有只能发射单脉冲的MUT前端开关类功放难以满足需求,并且还需要额外电路为电容式MUT提供片外高压偏置,增加了系统复杂度。本文提出的高线性度全集成发射前端电路,集成了Gm-C高阶滤波单元、高增益驱动单元以及正负直流升压单元。滤波单元抑制DAC输出信号中的高频谐波分量;驱动单元以集成匹配网络的线性差分结构完成对MUT的驱动;升压单元以正负压的形式对电容式MUT提供高压偏置。基于CSMC 0.18μm BCD工艺实现了发射前端电路的原理图及版图,本文的主要研究工作和创新点如下:(1)采用双二阶级联结构设计了Gm-C四阶滤波单元,在核心跨导放大器中,设计了有源电感零极点补偿结构,在达到相同带宽情况下,获得了更小的静态功耗和更高的输出阻抗。设计了源极负反馈及交叉耦合差分对结构提高了线性度。带外十倍频程抑制率达86d B,跨导放大器增益带宽积15.6MHz,静态功耗82μW,线性范围1.6V。(2)高增益驱动单元,设计了线性全差分结构,有效抑制偶次谐波。提出了一种集成阻抗匹配网络,完成与MUT的匹配,匹配网络中的电感通过输出级源端等效电感的方式实现,做到了片内集成,无需大尺寸片外电感。在100p F并联1kΩ负载下,工作频率达10.3MHz,输出电压最大摆幅达24V,平均功耗5.24m W,二次谐波失真-66d B。(3)正负直流升压单元,通过正压电荷泵与负压电荷泵相结合的方式,对MUT提供片内高压差直流偏置,提高电路耐受性、电压调节范围及阵元隔离度。设计了辅助升压电路,减小了寄生电容及开关导通电阻,提高了输出效率及驱动能力。单电源供电时输出电压差可达90V,转换效率达77%。
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