金属辅助化学刻蚀法制备硅基微纳结构的工艺优化

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全球经济的不断高速发展加速了人类对能源的依赖,各种因能耗污染而出现的极端气候不断涌现,寻找一种可再生的绿色能源来逐渐替代传统能源成为当下燃眉之急。硅基太阳能电池因其环境友好性、高稳定性等优点而被广泛应用,但高纯度单晶硅材料的昂贵价格以及多晶硅与非晶硅较低的转换效率严重阻碍着其在光伏产业中的应用。新型硅微纳结构具有低成本、陷光效应等优点,是提升硅基太阳能电池光伏性能、降低成本的有效途径。硅微纳结构的形貌质量优劣,与其制备工艺有直接的关系。为了尽可能减少成本、简化工艺,实验室最常用到的制备方法是有掩膜的
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