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随着现代机械工艺的迅速发展,许多精密仪器及工作于特定工况下的摩擦副间的油膜厚度已经减小至纳米量级,润滑状态处于薄膜润滑,如何在如此微小的间隙之间保证充分的润滑对于减少磨损、延长设备寿命和提高工作可靠性等方面具有重要的实践意义,目前对于薄膜润滑状态的理论特性及工作机理的研究工作仍需完善。本文以光干涉法相对光强原理为基础,结合薄膜润滑机理的现有研究成果,研制了光干涉法纳米级润滑膜厚测量仪,该测量仪分辨率高,工作稳定可靠,能够用来针对低速、轻载工况下点接触式纯滑动润滑摩擦副间的薄膜润滑特性开展实验