直线基准的测量修正技术和直线度评定方法研究

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直线度误差测量是几何量测量和精度控制的基本项目,直线基准则是直线度误差测量的关键要素。无衍射光束因其较高的稳定性和抗干扰能力,越来越多地被用作直线度误差检测的直线基准。为了克服光学直线基准受漂移量尤其是角漂量影响较大的缺陷,解决中长距离光学直线基准误差大的问题,本文开发了一种基于无衍射光束的直线基准测量修正系统。另外,针对国标中极点计算法存在的缺陷,本文提出了直线度误差评定的极点定向搜索与迭代方法,改善直线度误差的评定精度。具体内容主要有以下几点:(1)针对国内外光束漂移探测的研究现状和存在的问题,开发了一种无衍射光束直线基准的测量修正系统:①提出了无衍射光束的测量修正系统总体方案,给出了无衍射光束的漂移探测和补偿原理,设计了硬件系统所需的各种机械装置。②结合无衍射光束的漂移探测原理设计了同步控制系统。具体包括:分析同步控制原理提出同步控制方法,根据同步控制的需要设计延时电路和电子开关。③结合无衍射光束截面图像特点,开发图像采集和处理软件,完成图像采集、参数设置、贝塞尔图像中心提取、漂移探测与补偿数值计算。最后应用于实例,完成了无衍射光束直线基准的测量修正系统的功能测试。(2)针对国标的极点计算法存在的缺陷,提出了极点定向搜索与迭代的最小包容区域评定方法。详细阐述定向搜索与迭代原理及其数学模型的同时,开发了直线度误差处理软件。直线度误差数据处理的结果证实,新的极点搜索方法有更好的完备性和更高的精准度。
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