激光烧蚀电光晶体产生等离子体光谱诊断研究

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高功率密度的激光照射到固体材料表面时,材料被迅速汽化和电离,产生等离子体.研究激光烧蚀形成等离子体性质不仅有重要的理论意义,它可以帮助我们更深刻的认识激光与物质相互作用的过程,而且这项研究还有很高的应用价值.激光诱导固体靶形成的等离子体是具有一定能量和质量的受控粒子束,可以用来生长薄膜,脉冲激光沉积法(PLD)已经被证明是薄膜生长,特别是化学结构复杂的氧化物材料薄膜生长最成功的方法之一.这些晶体的薄膜材料,相对于它们的块状材料而言,有很多优点,如可以引入梯度折射率、可以选择性的引入杂质、可以制备多层结构等.例如,对于如何用激光沉积法生成高质量LiNbO3薄膜,已经做了大量的研究工作,很多实用的器件,已经投入使用.我们所研究的等离子体参数反映出了等离子体中粒子运动的基本信息,对于提高脉冲激光沉积法镀膜的质量,有很重要的意义.
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