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集成电路测试系统微小微电子参量是指小于1毫伏的直流电压和小于1毫安的直流电流。对这些微小微电子参量进行校准是确保微电子参量量值准确可靠的重要保障。本文旨在根据集成电路测试系统微小微电子参量对于校准的需求，针对现有微小微电子参量校准装置的不足，研究集成电路测试系统微小微电子参量校准技术。论文首先研究集成电路测试系统微小微电子参量的特性。微小微电子参量是集成电路量值中最重要的量值之一，反映了集成电路的工作特性。集成电路测试系统对微小微电子参量的测量是将集成电路微小微电子参量进行传递的重要过程，而通过校准装置对集成电路测试系统的校准则将该量值实现向上溯源，直到溯源到最高标准。为了解决现有集成电路测试系统微小微电子参量校准装置的不足，本文总结和借鉴现有成熟校准装置的优点，针对微小微电子参量的特点和校准应用的特殊性，自主研制一套微小参量校准装置；针对自主研制的校准装置开发相应的控制和校准软件。针对校准应用优化定制的硬件平台和针对定制平台开发的校准软件可以更好的发挥装置的性能。另外，本文还研究校准装置的量值传递技术。装置设计技术指标能够达到对1V-100mV电压量程具有1.0×10-3－1.0×10-2的测量不确定度和对1A100mA电流量程具有1.0×10-4－1.0×10-3的测量不确定度。能够满足对现有集成电路测试系统微小微电子参量的校准需求。