测量不确定度是评价测量结果质量的重要指标,没有不确定度的测量结果是不完整的,不具有实用价值的。但是现有的三坐标测量机应用时,通常得到的只是被测参数的估计值,没有给出相应的测量不确定度。现代精密制造技术的发展对三坐标测量机不断提出更高的要求,用户越来越关心和重视测量结果的不确定度评定,准确方便的评定具体测量任务的测量不确定度是三坐标测量机应用中急需解决的问题。本文从三坐标测量机具体测量任务的不确定度评定入手,对三坐标测量机测量不确定度评定的国内外研究现状进行分析,并对三坐标测量机的误差来源和各种测量任务的测量原理、评定方法进行了系统的研究。　　 本文以坐标测量法进行测量,并基于最小二乘原理对尺寸、直线度、平面度、圆度的测量进行数学建模,参照ISO国际测量不确定度表示指南,分析影响不确定度的误差来源,推导不确定度计算的传递链函数,并应用蒙特卡罗法进行被测参数的不确定度评定。　　 主要工作内容如下:　　 (1)分析三坐标测量机具体测量任务的最小二乘数学模型,综合考虑三坐标测量机自身误差和测量过程引入的误差对最终测量结果的不确定度的影响,根据不确定度评定表示指南(GuM)建立不确定度评定模型。　　 (2)参照最新的国家标准GB/T24635.3坐标测量机确定测量不确定度的技术第3部分:应用已校准工件或标准件,综合考虑已校准工件的校准不确定度、测量过程的不确定度和工件材料制造过程的不确定度等各个方面,计算测量参数的扩展不确定度。　　 (3)参照最新国际标准ISO15530-4-2008坐标测量机确定测量不确定度的技术第4部分:利用模拟方法评定具体任务的测量不确定度,研究蒙特卡罗法应用于不确定度评定的基本原理,对于不确定度的传递链函数逐环进行多次仿真模拟,直到包含所有误差来源,然后进行不确定度评定;(4)针对三坐标测量机典型任务进行测量,利用软件编程计算测量结果的误差和不确定度,并利用蒙特卡罗法模拟测量过程进行不确定度评定。