随着科技的发展，各行各业对微细结构和微细部件的需求正快速增长。但在能源与航空航天领域，一般金属材料难以承受恶劣的工作环境，应用在该领域的微细部件需采用高性能金属材料，如镍基高温合金。目前，镍基高温合金的微细加工方法主要有机械加工、电火花加工和三维微焊接技术等，微细电解加工方法因具有表面质量好、无再铸层等优点，正成为研究者关注的热点。　　 本文以镍基高温合金GH3030为研究对象，研究了各种参数对微细电解铣削过程中加工精度和加工稳定性的影响，主要完成了以下工作：　　 (1)建立了微细电解分层铣削加工的模型，搭建了微细电解铣削加工工艺系统，设计了电极夹具和电解液流动方式，对电极对刀做了改进和优化。　　 (2)针对单阶电极形状精度难以控制以及强度不高的缺点，本文提出了多阶柱状电极的电化学制备方法，并建立了其制备过程的数学模型，研究了电压、电流密度、浸入深度之间的关系，成功制备了多阶柱状电极。　　 (3)在GH3030上进行了微槽的电解铣削加工工艺试验，研究了影响加工精度和加工稳定性的主要因素，分析了加工电压、脉冲宽度、脉冲周期、电极直径、电解液浓度等对加工的影响规律。根据理论模型，本文应用了薄分层电解铣削的新工艺，研究了每层铣削厚度对起始点形状精度、加工稳定性及加工效率的影响，并对参数进行了优化，采用优化的参数成功加工出三维微型腔。