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随着MEMS的迅速发展,其对测试系统,尤其是对动态特性测试系统的需求越来越迫切。高温MEMS器件的应用越来越广泛,如应用于石油化工、冶金等高温恶劣工况条件下物理量测试的MEMS传感器。而MEMS器件在不同的温度环境下的性能和响应特性是不同的,故研究MEMS器件在不同温度下的响应和性能变化规律,可以拓宽其应用领域,优化设计,提高其可靠性。目前,在MEMS动态测试中常使用基于压电陶瓷的激励方式,而压电陶瓷较低的工作温度使其在高温环境下动态测试中应用存在较大的困难,高温环境下的激励技术还待进一