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本实验利用自制的磁控弧光射频等离子体增强化学气相沉积(RF magnetron PECVD)设备,在生物玻璃片上制备类金刚石碳(DLC)膜,利用探针轮廓仪、原子力显微镜(AFM)、拉曼光谱仪(Raman spectrum)、X射线光电子能谱仪(XPS)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)及摩擦磨损仪等表征DLC膜的厚度、结构、成分、表面形貌、粗糙度、透过率及摩擦系数,探究不同工艺参数对DLC膜结构和性能的影响,获得综合性能优异的薄膜。实验表明,以丁烷为反应气体,氩气为载流气体,利用RF-PECVD法在生物玻璃片上成功地制备了DLC膜,其中工艺参数为基础真空度9.8× 10-3Pa,射频功率600W,C4H10/Ar流量比1.5/25,沉积时间2min时获得的薄膜厚度适中、表面光滑致密、粗糙度小、sp3比例大、透过率高、摩擦系数低,DLC膜综合性能优异。在感光鼓外表面裹一层PET,以圆柱状PET为基底材料,采用优化的工艺参数,以旋转镀膜的方式,在不同沉积时间下制备DLC膜,获得PET上旋转镀膜的适宜时间。实验结果表明PET上涂覆的DLC膜略微发黄,可能是薄膜不纯导致的；且其膜基结合力比生物玻璃片上沉积的薄膜的膜基结合力好。旋转速度为16s/转时,PET上沉积DLC膜的时间控制在3-6min为宜。沿用PET上旋转镀膜的方法,在OPC感光鼓上采用一半镀膜一半不镀膜的方法在感光鼓非齿轮侧和齿轮侧沉积DLC膜,并用自制的摩擦仪测试感光鼓的耐磨性。摩擦结果表明：第一,感光鼓最易磨损的地方为未镀膜部分的换向处；第二,无论感光鼓哪侧镀膜(非齿轮侧或齿轮侧),不同沉积时间下,沉积了DLC膜的感光鼓的摩擦寿命均可提高至2-3倍,表明DLC膜的减摩效果显著；第三,样品8-3 OPC感光鼓,即沉积时间为6min时,沉积了DLC膜后感光鼓的摩擦寿命提高倍数较为稳定,均为3倍左右。采用沉积时间为6min的镀膜工艺,在感光鼓非齿轮侧和齿轮侧沉积DLC膜,并将其装入激光打印机中打印,测试其使用寿命。感光鼓在打印机中的测试结果显示：第一,沉积了DLC膜的感光鼓打印页面清晰、无缺陷,与全新未处理的感光鼓打印效果完全相同,表明感光鼓上沉积的DLC膜对激光打印机的打印效果完全没有影响。第二,感光鼓打印了3000页后,页面文字变浅,表明感光鼓表面光导材料磨损,感光性能变差,文字变浅。第三,沉积了DLC膜后的感光鼓使用寿命均提高至2倍以上,表明DLC膜在感光鼓上的应用成功地延长了感光鼓的使用寿命。