移相干涉测量中相位解包算法的研究

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移相干涉技术(PSI)是计量测试特别是三维形貌测量中高精度、高灵敏度的测量方法。它采用非接触式的测量手段,广泛的应用于多种物理量的测试,在高精度光学检验测量中占有重要的地位。 本文通过介绍移相干涉技术的基本原理,可以知道所得到的相位是被归一化在[-π,+π]之间,即为包裹相位。为了获得表征被测物体物理量信息的原始相位,我们必须对包裹相位进行解包,这一步也是移相干涉测量中最为关键的步骤。 本文对相位解包的算法做了比较深入的研究。首先,对干涉图中的无效区域和噪声的识别方法做了详细的介绍,这确保了解包后的精度。接着,在介绍了区域增长算法之后,着重研究了通过延拓相位图使基于离散余弦变换非加权最小二乘法顺利进行的新算法。在编制程序,对实验数据进行处理的基础上,对这两种算法的结果进行了比较,并进行了数学仿真,分析了各自的特点。
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