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本论文采用直流热阴极化学气相沉积方法(DC PCVD)制备金刚石膜,研究了甲烷流量、放电电流、气体压力和基片温度等条件对金刚石膜生长速率、结晶特性的影响。从热应力角度分析了金刚石的微裂纹与爆裂纹现象。针对CVD金刚石在刀具和修整器工具方面的应用研究了金刚石膜的耐磨性。建立了CVD金刚石刀具和修整器的制作工艺。在低真空环境下以热扩散原理建立了大面积金刚石膜表面改性工艺,解决CVD金刚石刀具制作工艺中的焊接问题,成功制作出满足工业要求的CVD金刚石刀具;CVD金刚石修整器可以代替天然金刚石修整器。