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基于ECR-PEMOCVD技术在蓝宝石衬底上高C轴择优的InN薄膜的制备及表征

来源 :大连理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangyongahz4

【作 者】

：

周志峰 

【出 处】

：

大连理工大学

【发表日期】

：

2018年09期

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