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在机载干涉合成孔径雷达(InSAR)系统中，载机容易受到气流等不稳定因素的影响，出现位置偏移和姿态变化等问题，影响雷达天线相位中心位置及波束指向，从而影响SAR成像质量及InSAR数据处理。因此，精确的运动补偿处理是保证SAR成像质量和高程测量精度的关键，本文利用仿真数据对机载InSAR运动补偿处理方法进行了系统的研究。 本文首先分析了载机位置偏移和姿态变化对SAR成像及InSAR干涉相位的影响，接着研究了基于定位定向系统（POS）测量数据和残余误差估计的运动补偿方法。在基于POS测量数据的运动补偿中，我们利用高精度测量数据获得天线相位中心位置，再结合拟合出的理想参考航迹计算出运动偏移量，从而在成像过程中完成运动补偿处理。 由于测量精度的限制，在经过基于POS测量数据的运动补偿处理后，图像中仍然会存在一定的残余运动误差，导致载机有效基线发生变化，从而引入干涉相位误差，本文利用子孔径处理法和改进的子孔径处理法分别对时变基线误差进行估计，从而完成InSAR的运动补偿处理。