烧结钕铁硼磁体磁控溅射重稀土及合金和晶界扩散的研究

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在室温下,烧结钕铁硼磁体表现出优异的磁性能,因此是当前应用范围最广的磁性材料之一。然而随着工作温度的升高,其磁性能会而大幅度降低,这限制了烧结钕铁硼磁体在高温领域的应用。通过添加重稀土元素来提升矫顽力进而提高烧结钕铁硼磁体的温度稳定性是一种可靠的方法。晶界扩散法则是在当前应用中提升烧结钕铁硼磁体矫顽力最高效的方法。然而当前主要添加的重稀土元素铽和镝都属于应用价值高的战略资源,开采较多。本文采用了一种新的磁控溅射真空沉积多层重稀土、合金薄膜法,在磁体表面沉积不同成分的重稀土及合金元素薄膜,经真空热处理
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