本论文介绍了绿色镀膜玻璃的发展，对各类别节能镀膜玻璃膜系结构、光性能特点以及镀膜玻璃的制备方法进行了概括，阐述了未来绿色镀膜玻璃的发展趋势：采用低成本原材料和高效方便的制备工艺，制备具有复合型多功能薄膜具有更强的市场竞争力。CeO₂-TiO₂复合薄膜由于具有高的折射率，优异的紫外线吸收功能、高的电荷储存能力、好的电致变色可逆性，是节能智能镀膜玻璃的一种重要材料。 论文创新性地采用不同Ce／Ti摩尔比的CeO₂、TiO₂原材料进行混合、磨细、烧结CeO₂-TiO₂陶瓷靶材，采用磁控溅射法，在不同溅射条件下制备CeO₂、TiO₂、CeO₂-TiO₂薄膜。利用各种分析测试方法（SEM、TEM、XRD、XPS、Raman、UV-vis、薄膜分析仪等）对薄膜的结构与性能进行了全面研究，得出如下结论： 靶材的溅射由于Ce、Ti的原子序数不同，溅射阈不同而造成Ce的优先溅射，薄膜中的Ce／Ti摩尔比与实际靶材设计的Ce／Ti摩尔比高50％左右。 组成CeO₂-TiO₂混合薄膜颗粒粒径在纳米尺度范围3—50nm，与纯CeO₂、TiO₂薄膜相比，具有更小的表面粗糙度和更难结晶，这是由于异质材料晶界的相互干扰，使同质颗粒之间难于聚集而结晶长大，薄膜处于纳米晶或雏晶态，即使加热基片或薄膜进行热处理也无明显变化。纳米晶或雏晶态微粒尺寸效应，对薄膜的光学性能产生了较大的影响。 溅射薄膜的间接能隙进行了研究，发现Ce／Ti摩尔含量在0.8左右的CeO₂-TiO₂混合薄膜的间接能隙与纯CeO₂、TiO₂薄膜相比小很多，CeO₂-TiO₂薄膜间接能隙Eg=2.62±0.04 ev；CeO₂薄膜Eg=3.08±0.02 ev；TiO₂薄膜Eg=3.35±0.02 ev。混合薄膜的吸收边波长和截止波长大于纯CeO₂、TiO₂薄膜，并出现明显的带尾现象。能隙的变化主要由于（1）薄膜纳米晶尺寸效应；（2）掺杂效应。 由于混合薄膜间接跃迁的能隙较小，导致了吸收边向红外区迁移，使薄膜有很好的紫外线吸收功能。本论文的研究为磁控溅射法制备CeO₂-TiO₂薄膜提供了一定的理论和实践依据。