GaN基pin光探测器的结构设计与优化

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基于GaN材料的紫外探测器可以广泛应用于导弹尾焰探测、火灾监测、卫星间通信等领域,在国际上引起了广泛的研究兴趣。本文分析GaN基pin型紫外探测器工作原理,建立GaN材料的基本物理参数模型,通过求解漂移-扩散方程,对GaN基pin光电探测器进行数学建模,利用该模型定量地分析光电流、光谱响应度,以及各层对光电流的贡献比例。其次,优化设计了两种GaN基正入射pin光探测器:同质结光探测器和异质结光探测器。分析结果表明:器件的光谱响应受p型层的影响较大,优化p层是提高器件光谱响应的有效途径。对GaN/AlGaN/GaN异质结光电探测器,随所加负偏压增加,器件的UV/Solar选择比降低;考虑极化效应和偶极子影响时,器件UV/Solar选择比增加,可达三个数量级;插入势垒增强层和InGaN量子阱,器件UV/Solar选择比明显提高。再次,设计了一种GaN基背照式pin日盲探测器,对其结构进行了模拟和分析,i层与p层厚度分别优化到理论最佳值。通过对器件光谱响应的分析,响应度随反偏电压增加而增大,不是因为耗尽层展宽,而是受另外两种因素影响:(1)偏压增加,GaN/AlGaN异质结势垒对电子的阻挡作用降低,同时也导致UV/Solor选择比下降;(2)耗尽区的电场增加,过剩载流子在耗尽区的复合概率减小。该器件在光伏模式下的模拟响应度为0.12A/W,量子效率为55.11%,UV/Solor选择比≥103;器件实测响应度大于0.09A/W,量子效率大于41.6%,实现了真正的日盲区探测。模拟结果与实验结果符合较好,为今后GaN基光探测器的进一步研制奠定了良好的基础。
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