【摘 要】
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本文对水热法制备纳米SnO及厚膜气敏元件进行了探讨。文章分为三个部分：第一部分研究了水热法制备气敏元件阵列用纳米SnO2粉体的工艺过程，通过对各个工艺环节的深入分析和具体实验，并结合XRD、SEM和TEM等实验手段，找出了最佳工艺条件；第二部分研究了水热法制备掺杂的CuO-SnO2粉体，并结合XRD衍射分析，确定了最佳的工艺过程；第三部分给出了厚膜型H2S气体敏感膜的制备和探讨过程，并研究了它的气
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本文对水热法制备纳米SnO<,2>及厚膜气敏元件进行了探讨。文章分为三个部分：第一部分研究了水热法制备气敏元件阵列用纳米SnO2粉体的工艺过程，通过对各个工艺环节的深入分析和具体实验，并结合XRD、SEM和TEM等实验手段，找出了最佳工艺条件；第二部分研究了水热法制备掺杂的CuO-SnO2粉体，并结合XRD衍射分析，确定了最佳的工艺过程；第三部分给出了厚膜型H2S气体敏感膜的制备和探讨过程，并研究了它的气敏性能。
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