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随着科技的进步与经济的发展,MMIC器件得到了越来越广泛的应用。其中GaAs MMIC开关是一种控制微波信号导通与关断的器件,可以用来选择信号的传输与否或者传输路径,在军事和民用领域都扮演着十分重要的角色,如相控阵雷达、蜂窝GSM以及射频通信系统中都可以看到GaAs MMIC开关的身影。本文研究并设计了两款E/D工艺GaAs单刀多掷MMIC开关,具体工作包括开关的原理分析、模型选择、电路设计、电路图仿真和版图仿真,开关用数字驱动电路的设计与仿真,完成了版图绘制并最终流片。通过多次测试,证明研制的GaAs MMIC开关的性能合格,其中单刀四掷开关使用频率为DC~4GHz,插入损耗小于2dB,隔离度大于50dB;单刀八掷开关使用频率为DC~4.5GHz,插入损耗小于2.5dB,隔离度大于33dB,都达到了使用要求。